전자 화학물질, 또는 간단히 전자 산업용 화학물질은 일반적으로 반도체와 인쇄회로기판(PCB)을 의미합니다. 그러나 실제로는 반도체, 반도체 처리 화학물질 및 반도체 패키징 소재도 포함됩니다.

반도체 처리 화학물질에는 특수 가스, 습식 화학물질, 포토레지스트, 박막 금속 및 CMP 슬러리가 포함됩니다.

전자 화학물질의 분류
현재 사용되는 전자 화학물질은 매우 다양합니다. 여기에는 집적회로나 실리콘 칩 제조에 사용되는 특수 화학물질이 포함되며, 웨이퍼, 일반 및 특수 가스, 포토레지스트, 보조 화학물질, 습식 공정 화학물질, CMP 슬러리, 박막 금속, 구리 도금 등 새로운 화학물질과 소재도 포함됩니다.

전자 화학물질의 주요 범주는 다음과 같습니다:
• 일반적으로 사용되는 가스: 질소, 산소, 아르곤, 헬륨, 수소
• 도핑 가스: 아르신, 포스핀, 삼염화붕소, 삼플루오르화붕소, 디보레인
• 식각 가스: 삼염화붕소, 염소, 삼플루오르화염소, 염화수소, 불화수소, 삼플루오르화질소, 사플루오르화규소, 육불화황, 사플루오르화메탄, 삼플루오르화메탄, 이플루오르화메탄, 플루오르화메탄, 헥사플루오르에탄, 펜타플루오르에탄, 옥타플루오로프로판, 옥타플루오로시클로부탄
• 화학 기상 증착(CVD) 화학물질: 실란, 디클로로실란, 트리클로로실란, 사염화규소, 디실란, 테트라에틸오르토실리케이트, 사플루오르화규소, 메틸실란, 저메인, 암모니아, 아산화질소, 육불화텅스텐
• 습식 화학물질: 아세트산, 아세톤, 불화암모늄, 수산화암모늄, 염산, 불산, 과산화수소, 이소프로필 알코올, 질산, 인산, 황산

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