电子化学品，或简称电子行业用化学品，通常是指半导体和印刷电路板（PCB）。但实际上，该定义还包括半导体、半导体加工化学品以及半导体封装材料。

半导体加工化学品包括特种气体、湿化学品、光刻胶、薄膜金属和CMP抛光液。

电子化学品的分类
目前使用的电子化学品种类繁多。其中包括用于集成电路或硅芯片制造的特种化学品，如硅片、普通和特种气体、光刻胶、辅助化学品、湿法工艺化学品、CMP抛光液、薄膜金属，以及铜电镀等新型化学品和材料。

电子化学品类别包括：
• 常用气体：氮气、氧气、氩气、氦气和氢气。
• 掺杂气体：砷烷、磷烷、三氯化硼、三氟化硼和二硼烷。
• 蚀刻气体：三氯化硼、氯气、三氟化氯、氯化氢、氟化氢、三氟化氮、四氟化硅、六氟化硫、四氟化碳、三氟甲烷、二氟甲烷、氟甲烷、六氟乙烷、五氟乙烷、八氟丙烷和八氟环丁烷。
• 化学气相沉积（CVD）化学品：硅烷、二氯硅烷、三氯硅烷、四氯化硅、二硅烷、四乙氧基硅烷、四氟化硅、甲基硅烷、锗烷、氨气、一氧化二氮和六氟化钨。
• 湿化学品：醋酸、丙酮、氟化铵、氢氧化铵、盐酸、氢氟酸、过氧化氢、异丙醇、硝酸、磷酸和硫酸。

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